真空除氧器，是一种使水在真空下低温沸腾，脱除水中含有的氧气、氮气、二氧化碳等气体的设备，由除氧水箱(除氧塔)和真空机组两大部分组成，除氧水箱可以高位或低位布置，真空泵机组可采用以蒸汽作动力的蒸汽喷射泵，或以循环水为工作介质的水喷射泵。
真空除氧的工作原理是应用亨利定律和道尔顿定律，根据亨利定律可知 ,在封闭容器中，任何气体同时存在于水面上 ,则气体的溶解度与其自己的分压力成正比 ,而且气体的溶解度仅与其本身的分压力有关。在一定压力下 ,随着水温升高 ,水蒸汽的分压力增大 ,而空气和氧气的分压力越来越小。在 100℃时 ,氧气的分压力降低到零 ,水中的溶解氧也降低到零。当水面上压力小于大气压力时 ,氧气的溶解度在较低水温时也可达到零。这样，水面上空间氧气分子被排出 ,或转变成其它气体 ,从而氧的分压力为零 ,水中氧气就不断地逸出，达到除氧的效果。