真空除氧器的工作原理是基于亨利定律，即在封闭容器中，气体在水中的溶解度与该气体在水面上的分压力成正比。水在沸腾时，水面上蒸汽的分压力增加，溶解于水中的气体分压力随之减少，当水面上充满了水蒸汽时，水不再具有溶解气体的能力，水中所溶解的气体就析出。从水的饱和温度特性可知，在真空状态下低温水也能沸腾，真空除氧器就是利用这一特性达到除去气体（包括氧气）的目的。
真空除氧器技术特性
1.真空除氧器运行工况稳定，真空度高，使用场合广，运行成本低。
2.真空除氧器运行时不消耗蒸汽，锅炉出力可全部利用[100％]。
3.真空除氧器低温的除氧水可通过换热器回收低品位的废热后再作为锅炉给水，充分提高了锅炉给水温度，从而得到有效的节能效果。真空除氧器适应性能强，负荷转换频辛率高[0-120%]，除氧效果不受影响。
4.真空除氧器除于可以高位安装外，还可以低位安装，便于单层布置的小型锅炉房用，节省投资，管理操作维修方便。
5.真空除氧器自动化控制性能好，无需工作人员看守。